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            咨詢熱線

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            當前位置:首頁  >  產品展示  >  奧林巴斯顯微鏡系列  >  半導體FPD檢查顯微鏡  >  AL120晶圓搬送機

            AL120晶圓搬送機

            簡要描述:AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2019-01-23
            • 訪  問  量:1385

            詳細介紹

            產地類別進口

            AL120晶圓搬送機

            適應范圍廣、搭配靈活       

             

            對應多種尺寸組合       

            我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據檢查模式,選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。           
            晶圓尺寸?厚度對應表
            晶圓尺寸•厚度對應表

             

            薄片檢查 

            對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。       

             

            高度實用性       

             

            進一步優化的宏觀檢查       

            背面宏觀360゜旋轉
            背面宏觀360゜旋轉

            • 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵。                           
            • 利用360゜旋轉功能,完全可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓大傾斜30゜進行觀察。                           

             

            操作便捷       

            • 為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。           
            • 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。           
            • AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。           

             

            高度可靠性       

             

            優先考慮晶圓和操作者的安全       

            • 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。           
            • 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令。           

             

            堅固、耐用的顯微鏡底座       

            AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。       

             

            人機工程學設計的載物臺       

            • 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。           
            • 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。 

            AL120晶圓搬送機技術參數:

            晶圓搬送機 AL120 規格
             200 mm型200 mm/150 mm 兼用型150 mm型
            AL120-
            LMB8-
            90
            AL120-
            LMB86-
            180
            AL120-
            L86-
            180
            AL120-
            LMB86
            AL120-
            L86
            AL120-
            LMB6-
            150
            AL120-
            L6-
            150
            晶圓尺寸(SEMI規格)200mm200mm / 150mm150mm /
            125mm /
            100mm
            晶圓小厚度90µm180µm400µm150µm
            片盒類型*SEMI規格:25(26)個slot
            片盒數1
            檢查模式全部檢查/抽樣檢查
            搬運順序微觀檢查(顯微鏡檢查)
            表面宏觀檢查   
            背面宏觀檢查   
            二次背面宏觀檢查   
            晶圓定位(每 90º)非接觸(定位平邊/V型槽)非接觸(定位平邊)
            適配顯微鏡型號奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
            尺寸(mm)主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
            重量(kg)(僅主機部分)44444144414037
            使用環境(電源/真空)AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

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