AL120晶圓搬送機

AL120晶圓搬送機

適應范圍廣、搭配靈活       

對應多種尺寸組合       

我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。           

晶圓尺寸•厚度對應表

薄片檢查 

對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。       

高度實用性       

進一步優化的宏觀檢查       

背面宏觀360゜旋轉

• 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。                           
• 利用360゜旋轉功能，完全可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓大傾斜30゜進行觀察。                           

操作便捷       

• 為了滿足各種常規檢查的要求，AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。           
• 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認。           
• AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。           

高度可靠性       

優先考慮晶圓和操作者的安全       

• 為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。           
• 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環境保護方面遵守了RoHS指令。           

堅固、耐用的顯微鏡底座       

AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。       

人機工程學設計的載物臺       

• 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。           
• 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。 

AL120晶圓搬送機技術參數：